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激光微加工方案一

挑战:光子器件的加工,基于最高达数百纳米分辨率这一单一特征,主要应用于可见光和红外光谱分析。 解决方案:应用超高聚焦(高达1.4NA),低收缩比的SZGel材料和先进的制造工艺,能够重复生产具备亚200纳米特征、亚...

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挑战:

光子器件的加工,基于最高达数百纳米分辨率这一单一特征,主要应用于可见光和红外光谱分析。

 

解决方案:

应用超高聚焦(高达1.4NA),低收缩比的SZGel材料和先进的制造工艺,能够重复生产具备亚200纳米特征、亚400纳米周期的结构。

 


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